l 特点：可实现多组分物质共沉积；
      实验测量和统计模拟相结合；
      利用飞行质谱/能谱仪测量组分
      比和速度；
      制备厚度均匀的大面积功能薄膜

l 应用：用于真空薄膜沉积实验及诊断的设计与调试、真空薄膜沉积气流场直接统计模拟的物理模型和计算方法、优化大面积薄膜沉积参数。